ULVAC 愛發(fā)科 隔膜型干泵 DA-60S
2025-12-08 17:21:57
fujino
隔膜型干泵
DA-60S
特點(diǎn)
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。
單級排氣系統(tǒng)比兩級排氣系統(tǒng)更快。
具有鎖定保護(hù)和過流保護(hù)功能等安全設(shè)計(jì)。
大氣壓下可以運(yùn)作。
用途
真空吸盤，晶圓和尖端處理設(shè)備。
真空鑷子，醫(yī)療器械。
印刷設(shè)備。
自動(dòng)包裝機(jī)。
光學(xué)器具。
半導(dǎo)體行業(yè)。
注塑機(jī)。
規(guī)格
| Unit | 50Hz | 60Hz | |
| 有效排氣速度 | L/min | 60 | 72 |
| 極限壓力※1 | Pa (kPa) | 21.3×103 （-80.0） | |
| 使用電動(dòng)機(jī) | 單相, 100V, 200W, 4P, 分相啟動(dòng) | ||
| 全負(fù)荷電流 | A | 5.6 | 5 |
| 重量 | kg | 11 | |
| 吸/排出孔（內(nèi)螺紋尺寸） | mm | O.D.Φ9×I.D.Φ5 (Rc 1/4) | |
| 使用環(huán)境溫度范圍 | ℃ | 7～40 | |
| 最大尺寸 | mm | 212(W)×278(L)×224.5(H) | |
※1：極限壓力如（）真空計(jì)顯示。
標(biāo)簽:
ULVAC 愛發(fā)科 隔膜泵 DA-60S