ULVAC 愛發科 增壓泵 PMB-040C PMB-060C
2025-12-17 17:28:32
fujino
機械增壓泵
PMB-040C
PMB-060C
特性
由于殼室內沒有潤滑油，所以對水蒸氣、溶劑等蒸汽也能得到穩定的性能。
可以選擇排氣的方向。裝置設計的自由度變大，裝置也可以緊湊化
用途
真空爐等大型腔室排氣
規格
用油
ULVOIL R-72
所需油量 8 L
冷卻方式 水冷
冷卻水 一次側壓力 0.3 Mpa
出入口壓差 0.05 Mpa
冷卻水量 10 L/min
冷卻水溫度*2 5 ～ 30 ℃