ULVAC 愛發科 CLM-08E CLM-08F 校準泄漏儀
2025-12-17 17:40:53
fujino
CLM-07AY
CLM-08A
CLM-09AZ
CLM-10A
CLM-08E
CLM-08F
校準泄漏儀
是利用氦氣透過玻璃（透過材料）的校準泄漏。（真空法校正）
CLM校正泄漏JCSS可以進行校正
仕様
| 型式 | リーク量 | 封入圧力 | ジョイント |
| CLM-07AY | 10-7Pa?m3/s臺 | 261kPa(abs) | Φ18mmパイプ(手動バルブ付き) |
| CLM-08A | 10-8Pa?m3/s臺 | 251kPa(abs) | |
| CLM-09AZ | 10-9Pa?m3/s臺 | 261kPa(abs) | |
| CLM-10A | 10-10Pa?m3/s臺 | 101kPa(abs) |
HELIOT內蔵用 校正リーク
| 型式 | リーク量 | 封入圧力 | 対象機種 |
| CLM-08E | 10?8Pa?m3/s臺 | 251kPa(abs) | HELIOT710,700,300series |
| CLM-08F | 10-8Pa?m3/s臺 | 251kPa(abs) | HELIOT900series |