ULVAC 愛發科 VFR-400 VFR-500 鐘擺閥 逆壓消除機構
2025-12-17 17:41:31
fujino
VFR-400
VFR-500
鐘擺閥
特性
采用不具有機械鎖止機構的獨立密封機構和逆壓消除機構
成為粒子產生原因的滑動部分極少的構造
開關動作時、密封時幾乎沒有沖擊（振動）
易于維護
不從裝置、泵上拆下閥，就可以裝卸閥箱
從取下殼體狀態，通過取下1根螺栓，能夠進行閥體單元的裝卸
不選擇安裝場所的設計
“Model:VFR”的安裝姿勢自由360度
仕様
| Model | VFR-400 | VFR-500 | |
| 呼び口徑 | Φ400mm | Φ500mm | |
| 接続フランジ（JIS B2290相當） | VF400 | VF500 | |
| 開閉仕様 | 2位置 | ||
| 開閉動作原理 | 圧空作動式 | ||
| 開閉動作時間（2位置仕様） | 8s 以下 | 12s 以下 | |
| 弁板シール性能 | 逆圧対応 | ||
| 弁板シール可能最大差圧(正圧時) | 0.12 MPa | ||
| 弁板シール可能最大差圧(逆圧時) | 0.12 MPa | ||
| 開閉許容最大差圧(正圧時) | 0.5 kPa | ||
| 開閉許容最大差圧(逆圧時) | 0.5 kPa | ||
| 開放コンダクタンス | 50000L/s | 90000L/s | |
| 使用圧力範囲 | 1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs) | ||
| ベーキング許容溫度（靜止時） | バルブボディ | 120℃ 以下 | |
| シリンダ | 80℃ 以下 | ||
| 動作環境溫度 | 10～80℃ | ||
| 使用流體溫度 | 10～80℃ | ||
| シリンダ供給圧空圧力 | 0.5～0.7MPaG | ||
| 圧空供給口徑 | Φ8管継手 | ||
| メンテナンスサイクル | 10萬回 | ||
| 取付姿勢 | 自由 | ||
| 主要部品材質 | バルブボディ | AC4CH-T6 | |
| 弁板 | AC4CH-T6 | ||
| シール部品材質 | 真空側 | フッ素ゴム | |
| 油脂類 | Z300グリス | ||
| 総質量 | 98kg | 155kg | |
| 面間寸法 | 150mm | 170mm | |