ULVAC 愛發科 電子基板臺 EGN-206M EGN-406M
2025-12-20 16:52:01
fujino
電子基板臺
EGN-206M
EGN-406M
特性
抑制入射到基板反射電子，降低基板溫度上升
通過采用平頂結構，對電子束蒸發源的著膜面積少，容易清掃
通過采用新發射極結構，部件數量與以往相比減少到60%，組裝容易
通過變更一部分零件，可以選擇帶狀形狀梁和點形狀梁
通過以作為裝置制造商多年積累的經驗為基礎設計，實現壓倒性的可靠性
仕様
| Model | EGN-206M | EGN-406M | |
| 電子ビーム偏向角度 | 270° | ||
| るつぼ數 | 6 | ||
| るつぼ容量 | 20cc | 40cc | |
| るつぼ寸法 上面×底面×深さ | Φ42×Φ32×19(mm) | Φ50×Φ41×25(mm) | |
| 冷卻水量 | ハース | 10L/min以上 | |
| その他 | 2L/min以上 | ||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 214×343×144（mm） | ||
| 質量 | 28kg以下 | ||
| 蒸著速度 | 1.6μm/min （リボンビーム/Al/8kW/40ccるつぼ/ハース直上250H） | ||
| 最大加速電圧 | -10kV | ||
| 最大エミッション電流 | 0.8A | 1.0A | |
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | ||