日本ULVAC 愛發科 水晶式成膜控制器 CRTM-R1 CRTM-R1-EL
2025-12-20 16:55:20
fujino
水晶式成膜控制器
CRTM-R1
CRTM-R1-EL
CRTM-6000G
特性
采用新的測量方式大大提高了匯率穩定性。
Ability（CI值）的測定提高了水晶板的異常檢測能力。
最多可控制8元同時蒸鍍。（添加選項時）
通信方式Ethernet及RS-232C中所述修改相應參數的值。
保存在主機上的各種日志數據CSV格式USB對較大場景進行渲染期間已觀察到該故障。
Calc-Z在動態輸入提示中單擊Z-ratio即使是未知的材料，也可以一邊自動計算一邊成膜。
用途
有機EL蒸鍍或鈣鈦礦太陽能電池蒸鍍工藝中膜厚、速率管理及控制
CRTM-R1-EL 規格
| 頻率 | 測量范圍 | 4.00～3.00MHz@4MHz |
| 5.00～3.50MHz@5MHz | ||
| 6.00～4.50MHz@6MHz | ||
| 測量分辨率 | 1mHz | |
| 顯示分辨率 | 1mHz | |
| 蒸鍍速率 | 測量范圍*1 | 0.000～999.9?/s (0～99.99nm/s) |
| 測量分辨率*2 | 0.0028?/s @4MHz | |
| 0.0018?/s @5MHz | ||
| 0.0012?/s @6MHz | ||
| 顯示分辨率* | 0.001?/s | |
| 膜厚 | 測量范圍*1 | 0.000～9999k? (0～999.9μm) |
| 測量分辨率*2 | 0.0028? @4MHz | |
| 0.0018? @5MHz | ||
| 0.0012? @6MHz | ||
| 顯示分辨率*1 | 0.001k? | |
| 兼容傳感器頻率 | 4MHz?5MHz?6MHz | |
| 可安裝傳感器數量（單個傳感器） | 2 (可選MAX8，IF卡：2點/卡x 4卡) | |
| 可安裝傳感器數量（Multi多連傳感器） | 2 (可選MAX8，IF卡：2點/卡x 4卡) | |
| 采樣率 | 100msec | |
| Depo Program數 | 999 | |
| Process Program數 | 99 | |
| 數字輸入點數 | 14（MAX56作為選項，DIO卡：14點/張x 4張） | |
| 數字輸出點數 | 8（MAX32可選，DIO卡：8點/張x 4張） | |
| 模擬輸出點數 | 2（可選MAX16，IF卡：2點/張x 4張+AO車：8點/張x 1張） | |
| 模擬輸出范圍 | -10～+10V | |
| 通訊方式 | LAN (Ethernet) (1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T) | |
| RS-232C | ||
| USB2.0 Type-B | ||
| 外形尺寸（寬x深x高） | CRTM-R1-EL：約480×約320×約130mm | |
| CTM-EL(-D)：約80×約152×約53mm | ||
| 質量kg | CRTM-R1-EL：5.3kg（最大：5.8kg，帶選件） | |
| CTM-EL(-D)：0.6kg | ||
| 事業供電 | 交流100~240V±10%,50/60Hz | |
| 最大功耗 | 150W | |
| 兼容保險絲 | 250V2.5A（5×20mm 2個） | |
| IP防護等級 | IP20 | |
| 過電壓類別 | CAT.Ⅱ | |
| 海拔條件 | 海拔2000m以下 | |
| 污染程度 | 2 | |
| 使用環境 | 溫度 5-40℃ | |
| 濕度 20-85 %RH（無凝結） | ||
| 僅限室內 | ||
| 儲存環境 | 溫度 -10 ～ 60℃（無電、無凝露） | |
| 濕度 20～ 85%RH（無凝露） | ||
| 熱身時間 | 約30分鐘 | |
| 兼容標準 | CE | |
*1:設置 Tooling=100、Density=1 時的值
*2:這是通過 Tooling=100、Density=1 轉換頻率分辨率獲得的值。