日本ULVAC 愛發科 PFL-22TM 油擴散泵 PFL-22 盤繞加熱器
2025-12-25 18:10:28
fujino

油擴散泵
PFL-22
PFL-22TM
PFL-36
PFL-52
特點
與其他相同口徑的泵相比,具有更高的抽速。
幾乎沒有油蒸汽回流
高效且經濟,需要動力少,油也很少。
加熱器的更換和修理非常容易。
焊接技術非常好,使用氦氣檢漏儀進行過完整的泄漏測試,因此具有非常高的機械性和真空性。
規格
| 型號 | PFL-22 | PFL-22TM | PFL-36 | PFL-52 | |
| 排氣速度 | 10,000 L/sec | 10,000 L/sec | 34,000 L/sec | 70,000 L/sec | |
| 極限壓力 *1 | 3.0×10-4 Pa | ||||
| 臨界背壓 | 16 Pa | 6.7 Pa | 16 Pa | ||
| 工作開始時間 | 40 min | 60 min | 60 min | ||
| 液壓油 | ULVOIL D-11 | ||||
| 油量 | 5 L | 13 L | 27 L | ||
| 水溫 | 19~25℃ | ||||
| 冷卻水進水口 (尺寸) | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×2 | Rc 1/2×4 | |
| Rc 3/8×2 | |||||
| 冷卻水量 | 12 L/min | 15 L/min | 38 L/min | 50 L/min | |
| 電壓規格 | 200V / 3φ | ||||
| 電力需求 | 8 kW | 10 kW | 開始操作時 22 kW | 開始操作時 45 kW | |
| 穩定時 11 kW | 穩定時 30 kW | ||||
| 加熱器種類 | 盤繞加熱器 | 盤繞加熱器 | 盤繞加熱器 | 盤繞加熱器 | |
| 推薦輔助泵 *2 | PMB-040C+PKS-070 | PMB-040C+PKS-070 | PMB-060C+PKS-070 x 2個 | ||
| (PMB1200D+PKS-030) | (PMB1200D+PKS-070) | PMB2400D+PKS-070 | |||
| (PMB2400D+PKS-070) | |||||
| 外形尺寸 *3 | A | 480 mm | 480 mm | 725 mm | 1,000 mm |
| B | 630 mm | 630 mm | 1,022 mm | 2,000 mm | |
| H | 1,330 mm | 1,330 mm | 1,732 mm | 2,845 mm | |
| 吸氣口 | VG550 | VG550 | VG900 | 52英寸VG相當 | |
| 排氣口 | VG150 | VG200 | VG250 | VG350 | |
| 重量 | 290 Kg | 650 Kg | 1,400 Kg | ||
| 油位計 | 視口 View port | 視口 View port | 視口 View port | ||
| 溫控器選項 | 有 | 有 | 有 | ||
| 恒溫器設定溫度 | 180 | 110 | 110 | ||