日本ULVAC 愛發科 PST-100CX PST-100AX 濺射離子泵 超高真空領域
2025-12-25 18:17:52
fujino
PST-030CU
PST-030AU
PST-050CU
PST-050AU
PST-100CX
PST-100AX
濺射離子泵
射離子泵是一種用于產生超高真空的泵，廣泛應用于分析儀和加速器中。
ULVAC通過開發強化極、超高真空領域排氣特性的新型元件和優化磁場的技術，開發出了泵。
特點
應用于極?超真空，已通過ISO標準，極限壓力10-9 Pa測試 。
稀有氣體排氣增強型（AU型）的排氣性能是氬氣的兩倍。（與本公司相比）
在超高真空范圍內實現高抽速。
在短時間內可以達到超高真空。
在超高真空范圍內具有出色的啟動特性。（超高真空范圍內持續放電）
用途
加速器
電子顯微鏡
電子束曝光裝置
討厭振動的分析裝置
極?超高真空環境下的使用等
規格
| 型號 | PST-030CU | PST-030AU | PST-050CU | PST-050AU | PST-100CX | PST-100AX | |
| 主要對象氣體 | 活性氣體 | 希有氣體 | 活性氣體 | 希有氣體 | 活性氣體 | 希有氣體 | |
| 排氣速度* (再生排氣速度) | 0.03m3/s (N2 測定時) | 0.013m3/s (Ar 測定時) | 0.045m3/s (N2 測定時) | 0.016m3/s (Ar 測定時) | 0.10m3/s (N2 測定時) | 0.05m3/s (Ar 測定時) | |
| 到達壓力 | 10-9Pa | ||||||
| 動作壓力 | 推薦值 | <8.0×10-3Pa | <5.0 x 10-3Pa | ||||
| 內容積 | 0.67 X 10-3m3 | 1.3x10-3m3 | 3.3x10-3m3 | ||||
| 泵元件數量 | CU型單元×1 式 | AU sell×1式 | CU sell×1 | AU sell×1 | CX sell×1 | AX sell×1 | |
| 連接法蘭規格 | ICF070 | ICF114 | ICF152 | ||||
| 施加電壓 | DC+7.5kV | ||||||
| 加熱器 | 無設定 | AC200V, 300W | AC200V, 320W | ||||
| 烘烤溫度 | 250℃ | ||||||
| 質量 | 9.5 kg | 12kg | 37kg | ||||
| 外形尺寸 | W x H x D | 103×183×187 mm | 153×204×241mm | 155×336×340mm | |||
| 使用環境 | 溫度范圍 | 5~40℃ | |||||
| 濕度范圍 | 85%以下(無結露) | ||||||
| 固定泵的螺栓孔尺寸 | 4處-M5 深10mm | 4處-M8 深6mm | |||||
| 推薦的控制器 | GST-07L-B | ||||||
*1 GST-07L-B型控制器使用時