OTSUKA廣州代理OTSUKA 450mm晶圓厚度檢測設備 SF-450M 大塚電子
OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理 450mm晶圓厚度檢測設備SF-450M日本OTSUKA大塚電子450mm晶圓厚度檢測設備SF-450M日本OTSUKA大塚電子450mm晶圓厚度檢測設備SF-450M日本OTSUKA大塚電子450mm晶圓厚度檢測設備SF-450M日本OTSUKA大塚電子450mm晶圓厚度檢測設備SF-4
- 型號：
450mmウェーハまでの厚み測定 0.5～1600µmのSi厚み測定 畫像認識によるオリフラ?ノッチ角度検出精度５秒以內 分光干渉法により非接觸?非破壊で高い再現性を実現 貼り合せウェーハの薄膜ボンディング、Si厚み、サポート基板のトータル厚み測定 多層厚み測定が可能 オリフラ、ノッチの畫像認識によるウェーハ面內高精度位置決めを実現
測定項目
厚み測定 膜厚解析
仕 様
型式 SF-450M 光學系 光學プローブ 厚み測定範囲 0.5 ～ 1600µm 可動軸 XY 測定徑 φ6、φ9、φ500µm ステージ面サイズ φ450mm 可動軸ストローク ＸＹ軸:±225㎜ ウェーハサイズ 450 ｍｍ以下 計測時間 61 ポイント / 120s 以下 * 最大駆動速度 140 ｍｍ /s ステージ分解能 0.1 µm以下 繰り返し位置決め精度 1 µｍ以下 その他機能 畫像処理によるオリフラ及びノッチ合わせ機能 吸著 あり 特注 アライメント対応、ローダ対応
* 高精度位置決めモードの場合
.
.
.
.
.
網址：www.llana.cn 或www.fujino.net.cn
本司代理優勢品牌：(歡迎來電詢價)
SOLAX/SERIC索納克斯，FUNATECH船越龍，DSK電通產業，HIKARIYA光屋，ORIHARA折原
IIJIMA飯島電子，EXCEL聽音機 ，NDK日本電色，ORC歐阿希，HOYA豪雅，TSUBOSAKA壺板，TOPCON拓普康，ONOSOKKI小野，AND艾安德，TANDD天特，TOKISANSYO東機產業，KYOWA共和，TEITSU帝通電子，MCRL村上，KONICA MINOLTA柯尼卡美能達，IMV艾目微，EMIC愛美克，KANETEC強力，HODAKA穗高，SOTEC索泰科，CITIZEN西鐵城，OJIDEN大阪
，TECH-MO盛岡，SANEI三榮電機 ，OKANO岡野，SUGAWARA菅原，MITUTOYO三豐，RIKEN理研，KETT凱特
科學儀器：
SANSYO三商，TGK東京硝子，TOYOLING東洋，SIBATA柴田科學，LUCEO魯機歐，TGK東京硝子，HEIDON新東，KOKUSAN科庫森，NITTOKAGAKU日陶科學，ITOH伊藤，NIKKATO 日陶，KIRIYAMA桐山，KUSANO草野科學，NISSINRIKA日伸理化，NS恩艾斯
傳感器
KYOWA共和，METROL美德龍，OMRON歐姆龍，FUJI富士，OPTEX光電，KEYENCE基恩士
TAKEX竹中，SUGIDEN/SUGIYAMA杉山電機，GS吉艾斯，TAKASAGO高砂，MATSUNAGA松永，HISHIKO菱小，AIRTECH空氣科技，YAMABISHI山菱
OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品