ULVAC 愛發科 ?CR16B 干泵 CR30B 無需冷卻水和氮氣
2025-12-08 17:27:23
fujino
干泵
CR16B
CR30B
CR60B-S
CR60B-T
CR300B
特點
由于排氣室是非接觸的并且不使用油，因此可以長時間穩定排氣。
無需冷卻水和氮氣，有助于降低運行成本。
安裝了DC密封電機實現節能，氣密和減重。
氣鎮壓機構可以排出蒸汽。
符合CE,cTUVus
用途
空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
真空干燥等水蒸氣的排出（需要使用氣鎮）
濺射，蒸發等真空設備
規格
| 型號 | CR16B | CR30B | CR60B-S | CR60B-T | CR300B | |
| 最大排氣速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | |
| L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
| 到達壓力 *1 | Pa | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | |||||
| 最大排氣口壓力（排出圧力） | 大氣壓 | |||||
| 電源 *2 | 單相 : 100V, 200V 三相 : 200V | 單相:200V | 三相 : 200V | 三相 : 200V | ||
| 電機額定功率 | kW | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
| 吸氣口 | KF25 | KF40 | KF50 | |||
| 排氣口 | KF25 | KF40 | ||||
| 質量 | kg | 35 | 48 | 100 | ||
| 符合規格 | CE、cTUVus | |||||
| 冷卻方式 | 空冷 | |||||
| 氣鎮機構 *3 | 選配件 | |||||
| 最大水蒸氣處理量 e *4 | g/h | <300 | <500 | |||
| 標準附件 | 電源用連接器、信號用連接器、使用說明書、空氣過濾器、護套 | |||||
※1 極限壓力是氣鎮閥內沒有氣體時的值。
※2 請從上表中選擇使用電源的相位和電壓，訂購時注明。
※3 氣鎮用閥門為選裝件。
※4 使用氣鎮時候的最大水蒸氣處理量。水蒸氣排氣時請務必使用 氣鎮機構。