ULVAC 愛發科 干泵 GR60A GR90A 高吞吐量
2025-12-08 17:27:43
fujino
干泵
GR60A
GR90A
GR180A
特點
可應用于大氣真空間反復抽氣的高負荷領域，可在高負荷下持續使用。
適用load lock室（裝載/卸載室），可實現高吞吐量。
感應電機可通用
可以安裝防爆電機等特殊電機（可選）
采用多電壓兼容電機
用途
空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
各種成膜設備放入取出室的真空排氣
真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產業
真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充
規格
| 型號 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | |||||||
| 最大排氣口壓力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | ||||||
| 吸氣口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排氣口 | NW40 | |||||||
| DRP表面處理 | 〇 | |||||||
| 電機 | 輸出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 電壓 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 質量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷卻方式 | 冷卻水 一次供給壓力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷卻水 出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷卻水溫度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
| 冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮氣 | 一次側 供給圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 二次側 調整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (運作時) | ||||||
| 軸 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。
*2 不結露。
*3 通過調節器調節壓力計值。
*4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。