ULVAC 愛發科 冷陰極電離真空計 ?SC1
2025-12-17 17:39:52
fujino

冷陰極電離真空計
SC1
特性
測量元件和測量電路一體結構
模擬輸出及設置點輸出
獨立的偽日志輸出及設置點輸出(顯示單元)
48 x 96mm的,之DIN采用規格尺寸(顯示單元)
用途
以半導體、電子部件為首的各種制造裝置的工藝控制
以爐為首的各種產業機器的過程控制
對于具有多個加工室的各種制造裝置的過程控制
規格
類型 傳感器單元
型號 SC1
自適應測試器 C-21、23、24、25
測量壓力范圍 1.0×10-5 ~ 1.0 Pa
測量精度 +100%, -50%(1.0×10-4 ~ 1.0×10-1)
使用溫度范圍 10 ~ 40℃
測量值輸出 非線性輸出:DC0V ~ 10V(HV-OFF時,10V)
SETPOINT1/2調整用輸出 非線性輸出:DC0 ~ 10V
控制輸入信號 HV ON/OFF
輸出信號 開路集電極、負邏輯
控制輸出信號 放電確認/設置點1/2
LED表示 力量HV、壓力保護,設置點1/2
電源 DC24V±2V、150mA
輸入輸出連接器 D-sub-15銷(M2.6螺釘)
本體質量 430g(不含測量符)
配件 輸入輸出連接器1組
快速手冊1部