ULVAC 愛發科 冷陰極電離真空計 ?SC1
2025-12-17 17:39:52
fujino
冷陰極電離真空計
SC1
特性
測量元件和測量電路一體結構
模擬輸出及設置點輸出
獨立的偽日志輸出及設置點輸出（顯示單元）
48 x 96mm的，之DIN采用規格尺寸（顯示單元）
用途
以半導體、電子部件為首的各種制造裝置的工藝控制
以爐為首的各種產業機器的過程控制
對于具有多個加工室的各種制造裝置的過程控制
規格
類型 傳感器單元
型號 SC1
自適應測試器 C-21、23、24、25
測量壓力范圍 1.0×10-5 ～ 1.0 Pa
測量精度 ＋100%, －50%（1.0×10-4 ～ 1.0×10-1）
使用溫度范圍 10 ～ 40℃
測量值輸出 非線性輸出：DC0V ～ 10V（HV-OFF時，10V）
SETPOINT1/2調整用輸出 非線性輸出：DC0 ～ 10V
控制輸入信號 HV ON/OFF
輸出信號 開路集電極、負邏輯
控制輸出信號 放電確認/設置點1/2
LED表示 力量HV、壓力保護，設置點1/2
電源 DC24V±2V、150mA
輸入輸出連接器 D-sub-15銷（M2.6螺釘）
本體質量 430g（不含測量符）
配件 輸入輸出連接器1組
快速手冊1部