日本ULVAC 愛發科 HGM2-302 氣體分析儀 HGM2-202 通訊接口
2025-12-20 16:59:29
fujino
氣體分析儀
HGM2-202
HGM2-302
特點
測量質量范圍 1～200 amu
各種研究和開發應用的理想選擇 - 實現作為高端功能的最高感光度?2.5×10-6A/Pa
通訊接口 - 支持以太網通訊
顯示部分一體化的設計 無需電腦也可進行測量
操作簡單 - One Click機能（對每個人來說都很容易，不需要復雜的操作）
烘焙兼容 - 連接傳感器單元時可進行高達 250°C 的高溫烘烤（傳感器單元斷開時：300°C）
搭載DEGAS功能 - 采用電子沖擊脫附法
維護 - 易于更換燈絲、離子源和二次電子倍增器
增強預防性維護功能 - 離子源和二次電子倍增器的預防性維護,配備分析管溯源功能（專利第5016031號）
增強檢漏功能 - 能夠進行氦氣泄漏測試、空氣泄漏測試和累積測試
可以測量總壓力
標準搭載Qulee QCS軟件
符合CE
用途
熱脫附分析等各種研究開發
超高/超高真空抽氣設備的殘余氣體分析等。
氣體中痕量雜質的測量
與太陽能電池相關的研發
有機分析
環境測量
仕様
| 型式 | HGM2-202 | HGM2-302 | ||
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量數範囲 | 1 ~ 200 amu | 1 ~ 300 amu | ||
| 分解能 | M/ ΔM=1M (10% P.H.) | |||
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子倍増管 | ファラデーカップ | 二次電子倍増管 |
| 感度 | 2.5×10-6A/Pa @1.0mA | 4 A/Pa | 2.0×10-6A/Pa @1.0mA | 4 A/Pa |
| 最小検知分圧 | 10-9Pa臺 | 10-13Pa臺 | 10-9Pa臺 | 10-13Pa臺 |
| 最大仕様圧力 | 1×10-2Pa | |||
| フィラメント | lr / Y2O3 2本 | |||
| イオン化電圧 | 25 ~ 70 eV (デフォルト:70eV) | |||
| エミッション電流 | 0.1mA/0.5mA/1.0mA (デフォルトは0.5mA) | |||
| DEGAS | 電子衝撃脫離方式 330V, 5mA | |||
| 全圧測定機能 | あり／ 10-2 ~ 10-5Pa | |||
| One Click機能 | あり／ He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
| One Clickリークチェック機能 | あり | |||
| 電源電圧 | DC24V±10% 50W | |||
| 質量 (センサユニット/分析管) | 2.4kg / 0.81kg | |||
| 最大ベーキング溫度 (センサユニット接続時) | 250℃ | |||
| 最大ベーキング溫度 (センサユニット脫著時) | 300℃ | |||
| 使用溫度範囲 | 10 ~ 40℃ | |||
| 使用濕度範囲 | 15 ~ 80% (ただし結露無きこと) | |||
| IP保護等級 | IP30 (センサユニット) | |||
| 電源コネクタ | MSTBV2.5 / 3-STF-5.08 | |||
| 通信インターフェース | Ethernet仕様 | |||
| 外部入出力コネクタ | D-sub15ピン／M2.6ネジ(オプション) | |||
| 通信コネクタ | RJ45 | |||
| 外部入出力信號 | アナログ入力 (0-10V)×2、外部インターロック入力 (圧力保護)×1、エラー出力×1 (FIL、SEM、RF異常時)、分圧セットポイント出力×2 (異常、警告)、全圧セットポイント出力×1 | |||
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver4.2以降（Windows 8/10/11対応） | |||
| 標準付屬品 | 電源コネクタ、LANケーブル(3m)、ソフトウェア(インストールCD)、取扱説明書(CD) | |||
| オプション (Quleeオプションカタログ參照) | LANケーブル (10,15,20,30,50m)、ACアダプタ、USB-LANアダプタ、スイッチングハブ (8ポート又は16ポート)、入出力コネクタ、ジャケットヒータ、キャリーケース | |||
| 適合規格 | CE | |||
※AC電源でご使用される場合は、必ずACアダプタをご準備ください(Quleeオプションカタログ參照)