日本ULVAC 愛發科 UNECS-1500A 快速橢偏儀 UNECS-2000A 自動類型
2025-12-20 16:59:51
fujino
快速橢偏儀
自動類型
UNECS-1500A
UNECS-2000A
UNECS-3000A
特點
高速測定：
獨特的快照方法可實現高達20 ms的高速測量。
適用于可見光譜：
波長范圍可選標準類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：
光發射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護。
150mm自動載物臺：
配備兼容φ150mm的R-θ自動載物臺，并具備自動對焦功能，可實現基板表面的自動映射測量。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數的測量
規格
| 型號 | 1500A | 2000A | 3000A | |
| 波長范圍 | 530～750nm、380～760nm（選擇） | |||
| 點徑 | Φ1mm、Φ0.3mm（選擇） | |||
| 入射角度 | 70°固定 | |||
| 膜厚再現性 | 1σ = 0.1ｎｍ | |||
| 膜厚范圍 | 1nm ～ 2μｍ | |||
| 測量時間 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |||
| 平臺 | Φ150mm自動 | Φ200mm自動 | Φ300mm自動 | |
| 自動測量 | 200點 | 200點 | 2,000點 | |
| 控制PC | 筆記本類型（帶操作/分析軟件） | |||
| 機器構成 | 測量本體、控制器、操作PC（筆記本型）、使用說明書（CD） | |||