日本ULVAC 愛發科 BGM2-201 氣體分析儀 BGM2-101 可以測量總壓力
2025-12-20 17:00:29
fujino
氣體分析儀
BGM2-101
BGM2-201
BGM2-102
BGM2-202
殘留氣體分析儀(RGA)，革命性的簡單易操作。它是響應各種生產線設備技術的要求而出現的工藝監控器的新標準。最適合真空蒸發裝置和各種真空爐的設備管理。
特點
性價比優異的通用規格
測量質量范圍 1～200 amu
顯示部分一體化設計???無需電腦也可進行測量
操作簡單 - One Click機能???對每個人來說都很容易，不需要復雜的操作
增強檢漏功能
可以測量總壓力
標準搭載Qulee QCS軟件
符合CE
用途
真空蒸發設備和濺射設備等成膜設備的殘留氣體分析
高真空排氣設備的殘留氣體分析
冷凍干燥設備的殘留氣體分析
研究開發用途的各種氣體分析
仕様
分解能M/△M=1M(10% P.H.)
| 型式 | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量數範囲 | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子増倍管 ファラデーカップ | ||
| 感度 | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| 最小検知分圧 | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| 最大使用圧力 | 1x10-2Pa | |||
| 全圧測定機能 | あり | |||
| One Click機能 | あり/He/H2O/N2/O2/Any gas | |||
| One Click リークチェック機能 | あり | |||
| 電源電圧 | DC24V±10％ 50W | |||
| 最大ベーキング 可能溫度 (センサユニット接続時) | 120℃ | |||
| 最大ベーキング 可能溫度 (センサユニット脫著時) | 250℃ | |||
| 使用溫度範囲 | 10～40℃ | |||
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver4.2以降（Windows 8/10/11対応） | |||
| 適合規格 | CE | |||