日本ULVAC 愛發(fā)科 排氣機(jī) VPC-051 VPC-051A 自動(dòng)泄漏閥
2025-12-20 17:00:11
fujino
排氣機(jī)
VPC-051
VPC-051A
VPC-250F
特點(diǎn)
桌面型和緊湊型可節(jié)省安裝空間。
可以在不停止主泵的情況下打開真空室。
如果發(fā)生電源故障，通過自動(dòng)泄漏閥保護(hù)主泵。
空冷型，不需要冷卻水。
規(guī)格
型號(hào) VPC-051A
極限壓力 7.0×10-４Pa
1.5×10-４Pa（使用液氮時(shí)）
主泵 油擴(kuò)散泵（空冷） 50 L/sec
輔助泵 油回轉(zhuǎn)真空泵 20 L/min
主閥門 25A蝶閥
輔助閥門 三通閥
吸氣口 VG-25
重量 20kg
最大尺寸 （W×D×H） 350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)
※電離真空計(jì)?皮拉尼真空計(jì)?液氮阱?吸氣法蘭?油霧阱可選
標(biāo)簽:
日本ULVAC 愛發(fā)科 VPC-051 VPC-051A