日本ULVAC 愛發(fā)科 RGM2-202 氣體監(jiān)測(cè)儀 RGM2-302 流量控制閥
2025-12-25 12:24:03
fujino
氣體分析儀（過程氣體監(jiān)測(cè)儀）
RGM2-202
RGM2-302
特點(diǎn)
可以在反應(yīng)過程中長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量
采用具有磁場(chǎng)的Claude離子源
軟電離可防止在高靈敏度電離室因熱反應(yīng)而產(chǎn)生的分解和吸附，同時(shí)氣體離解較少
緊湊型流量控制閥
處理室到離子源的距離很短，可以快速響應(yīng)分辨率
可以測(cè)量寬范圍的壓力10-6 to 13kPa（口徑可選）
無需電腦也可以測(cè)量
One Click機(jī)能（對(duì)每個(gè)人來說都很容易，不需要復(fù)雜的操作）
連接傳感器單元時(shí)，最大可以進(jìn)行120℃的高溫烘烤
離子源，二次電子倍增管的預(yù)防性維護(hù)分析管加載了可追溯性（專利申請(qǐng)中）
可進(jìn)行氦氣檢漏，漏氣測(cè)試
標(biāo)準(zhǔn)搭載軟件（Windows 8/10/11）
用途
CVD/ALD/蝕刻設(shè)備
監(jiān)測(cè)工藝中的反應(yīng)氣體
蝕刻和清潔工藝的末端監(jiān)測(cè)
殘留氣體測(cè)量
檢漏
規(guī)格
| 型號(hào) | RGM2-202 | RGM2-302 |
| 傳感器 | ||
| 質(zhì)量分離方式 | 四極型質(zhì)量分析儀 | |
| 質(zhì)量數(shù)范圍 | 1～200 amu | 1～300 amu |
| 分解能 | M/△M=1M (10%P.H.) | |
| 檢出器 | SEM/法拉第杯 | |
| 感度 | 1×10-3 A/Pa | |
| 最小檢知分圧 | 1×10-10 Pa | |
| 離子源 | 帶磁鐵的閉合離子源 | |
| 燈絲 | V字型 Ir/Y2O3 1個(gè) | |
| 電力電壓 | 20～70 eV | |
| 放射電流 | 10μA | |
| 放大器范圍 | 1×10-5～1×10-12 A | |
| 可烘烤溫度 | 120℃ | |
| 差動(dòng)排氣系統(tǒng) | ||
| 氣體導(dǎo)入閥 | 帶孔流量控制閥 | |
| 最大采樣壓力 | 13kPa | |
| 差動(dòng)排氣系統(tǒng) | 帶中間排氣，吹掃的渦輪分子泵。 | |
| 渦輪分子泵 | 67L/s：N2 | |
| 前級(jí)泵 | DIS090 | |
| 皮拉尼真空計(jì) | SW1-1 | |
| 電離真空計(jì) | GI-M2 | |
| 質(zhì)量 | 排氣系：57kg／控制系：38kg | |
| 效用 | ||
| 電源電壓 | AC100V 15A | |
| 壓縮空氣 | Dry N2：0.4～0.7MPa (Φ6一觸式配件) | |
| 控制器單元 | ||
| One Click功能 | 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |
| PC交互 | RS-232C / 485 | |
| 外部入輸出 | 類似物輸入2點(diǎn)（0-10V） | |
| 設(shè)定點(diǎn)輸出2點(diǎn)（異常、警告） | ||
| 外部聯(lián)鎖（壓力保護(hù)） | ||
| 其他 | ||
| 烘烤加熱器 | 帶式加熱器 | |
| 高度調(diào)整架 | 標(biāo)準(zhǔn) | |
| 傳感器部一控制部鏈接電線 | 約5m | |
| 接口 | Ethernet | |
| 軟件 | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用 | |
| 選項(xiàng) | PC | |
標(biāo)簽:
日本ULVAC 愛發(fā)科 RGM2-202 RGM2-302