日本ULVAC 愛發科 氣體分析儀 CGM2-051 CGM2-101 可進行全壓測定
2025-12-25 18:09:23
fujino
氣體分析儀
CGM2-051
CGM2-101
CGM2-052
CGM2-102
特點
適用于各種濺射系統的工藝監控
Air Leak監控
殘留水分管理
清洗液殘留物
Galden? 和其他制冷劑泄漏
殘余碳氫化合物監測
無需差動排氣系統（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
內置顯示屏：無需PC可單獨操作使用
可進行高靈敏度泄漏測試（CGM2-102）
可進行全壓測定
操作簡單-One Click功能
標配Qulee QCS軟件
支持CE標準
規格
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
型號 | CGM-051 | CGM2-101 | CGM-052 | CGM2-102 |
質量分離方式 | 四極型質量分析儀 | |||
質量數范圍 | 1～50 amu | 1～100 amu | 1～50 amu | 1～100 amu |
檢出器 | 法拉第杯 | 二級電子倍增管／法拉第杯 | ||
感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
最小檢知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa | ||
最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM) | ||
線性 | 1Pa | |||
全壓力測量功能 | 有 | |||
Degas function | Electron bombard type 300V, 5mA | |||
一鍵檢漏功能 | 有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
電源電壓 | DC24V±10％ 50W | |||
最大烘烤可能溫度 | 120℃ | |||
最大烘烤可能溫度 | 250℃ | |||
使用溫度范圍 | 10～40℃ | |||
接口 | Ethernet | |||
軟件 | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用 | |||
符合標準 | CE | |||